真空爐爐膛內(nèi)的壓力能抽成低於大氣壓力的工業(yè)爐。真空爐用電加熱﹐被加熱的工件外表不氧化﹐不脫碳﹐變形小﹐機(jī)械性能好。用真空爐熔煉金屬有利於除去雜質(zhì)﹐成品針孔少﹐偏析小﹑質(zhì)量好。真空爐適用於高質(zhì)量﹑高純度﹑難熔金屬的熔煉和加熱﹐例如用於鎢﹑鉬﹑鉭﹑鈮﹑鈦﹑耐熱合金鋼的鍛煉和磁性資料﹐電工資料﹑高強(qiáng)鋼﹑不銹鋼﹑工具鋼﹑模具鋼等的熱處理。真空爐呈現(xiàn)於20世紀(jì)30年代前后。1927年美國製成電工資料真空退火爐。1953年真空自耗電弧爐在工業(yè)上已用於熔煉海綿鈦。50年代前后真空感應(yīng)爐在工業(yè)上得到廣泛應(yīng)用。1960年美國研製成油淬真空爐。

真空爐一般由爐膛﹑電熱設(shè)備﹑密封爐殼﹑真空體系﹑供電體系和控溫體系等組成。密封爐殼用碳鋼或不銹鋼焊成﹐可拆卸部件的接合面用真空密封資料密封。為防止?fàn)t殼受熱后變形和密封資料受熱變質(zhì)﹐爐殼一般用水冷或氣冷降溫。爐膛位於密封爐殼內(nèi)。根據(jù)爐子用途﹐爐膛內(nèi)部裝有不同類型的加熱元件﹐如電阻﹑感應(yīng)線圈﹑電極和電子槍等。熔煉金屬的真空爐爐膛內(nèi)裝有坩堝﹐有的還裝有主動(dòng)澆注設(shè)備和裝卸料的機(jī)械手等。真空體系主要由真空泵﹑真空閥門和真空計(jì)等組成。

二十世紀(jì)50年代，無芯感應(yīng)爐得到迅速發(fā)展。后來又呈現(xiàn)了電子束爐，使用電子束來沖擊固態(tài)燃料，能強(qiáng)化外表加熱和熔化高熔點(diǎn)的資料。用于鑄造加熱的爐子最早是手鍛爐，其工作空間是一個(gè)凹形槽，槽內(nèi)填入煤炭，焚燒用的空氣由槽的下部供入，工件埋在煤炭里加熱。這種爐子的熱效率很低，加熱質(zhì)量也不好，而且只能加熱小型工件，以后發(fā)展為用耐火磚砌成的半關(guān)閉或全關(guān)閉爐膛的室式爐，能夠用煤，煤氣或油作為燃料，也可用電作為熱源，工件放在爐膛里加熱。

為便于加熱大型工件，又呈現(xiàn)了適于加熱鋼錠和大鋼坯的臺(tái)車式爐，為了加熱長形桿件還呈現(xiàn)了井式爐。20世紀(jì)20年代后又呈現(xiàn)了能夠進(jìn)步爐子生產(chǎn)率和改進(jìn)勞動(dòng)條件的各種機(jī)械化、主動(dòng)化爐型。工業(yè)爐的燃料也跟著燃料資源的開發(fā)和燃料轉(zhuǎn)化技能的進(jìn)步，而由采用塊煤、焦炭、煤粉等固體燃料逐步改用發(fā)生爐煤氣、城市煤氣、天然氣、柴油、燃料油等氣體和液體燃料，并且研發(fā)出了與所用燃料相適應(yīng)的各種焚燒設(shè)備。